Edwards EPX180L愛德華干式真空泵維修

新的(de)緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的(de)特性是(shi)工作性能更佳(jia)，運行成(cheng)本更低。EPX500 EPX180L、使(shi)用了的(de)保護機械裝置，能夠從大氣(qi)壓(ya)抽(chou)空到小于(yu) 7 x 10-5 Torr 的(de)極(ji)限壓(ya)力。

IPX 系列，可提供的性能，與 EPX 相比，包裝重量輕了(le) 20%、體積小了(le) 30% 且功(gong)率降低了(le) 40%。

應用:

EPX 系列涵蓋的(de)應用，從水處理(li)到中度(du)工作(zuo)負載的(de)制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性(xing)氣體混(hun)合物（如負(fu)荷鎖定）且通過制(zhi)程機臺接(jie)口提供控制(zhi)的清(qing)潔工作應用。

功能和優勢：

緊湊的占(zhan)地面(mian)積 – 作(zuo)為可(ke)用的小工具上泵之一，EPX 節(jie)省了占(zhan)地面(mian)積。EPX 可(ke)以(yi)直接安裝(zhuang)到工具上，從而節(jie)省了前級管(guan)道和安裝(zhuang)成本(ben)，如果需要也可(ke)遠程安裝(zhuang)。

低運(yun)行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的(de)功(gong)率和整(zheng)合(he)空閑模式，從而可化功(gong)率效率。

的保(bao)護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓(ya)抽空(kong)到(dao)渦(wo)輪分子基準壓(ya)力(li)，并可以在所有進氣口壓(ya)力(li)下連續(xu)工作。

超(chao)清潔機(ji)械(xie)裝置 – 傳統的高(gao)真空軸(zhou)承(cheng)底油脂使(shi)用(yong)油脂潤(run)滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵(beng)沒有高(gao)真空軸(zhou)承(cheng)底油脂，并且不(bu)存(cun)在(zai)任何其他的潛在(zai)污染源。

非常可(ke)靠(kao)EPX 基于經(jing)過現場(chang)驗(yan)證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大(da)約每 5 年維修(xiu)一次，程度(du)地延(yan)長了(le)泵的使(shi)用(yong)壽命(ming)。

可兼容的網(wang)(wang)絡 - EPX 系列配(pei)有終用戶控制，可以(yi)連接到各種結(jie)構的網(wang)(wang)絡，以(yi)進(jin)行診斷監視和控制。

東(dong)莞(guan)比(bi)其爾真空公(gong)司地址(zhi)位于：東(dong)莞(guan)市(shi)寮(liao)步鎮坑口紅(hong)荔(li)路179號松湖科(ke)技產業園，廣東(dong)歷(li)史文(wen)化名城東莞。

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