愛德華半(ban)導體真空(kong)泵維修EPX180L

新(xin)的緊(jin)湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵(beng)的特性(xing)是：工作(zuo)性(xing)能更佳，運(yun)行(xing)成(cheng)本更低。EPX500 EPX180L、使用

了的保護(hu)機械裝置，能夠從大氣壓(ya)抽(chou)空(kong)到小(xiao)于 7 x 10-5 Torr 的極限壓(ya)力。

IPX 系(xi)列，可提供的性能，與 EPX 相比，包(bao)裝重量輕了 20%、體(ti)積(ji)小(xiao)了 30% 且功率降低(di)了 40%。 

應用:

EPX 系列涵蓋的應(ying)用(yong)，從水處理到中度工作負載的制程。

EPX“L”系列旨(zhi)在用于泵送惰性氣(qi)體混(hun)合(he)物（如負荷(he)鎖定(ding)）且通(tong)過制程機臺接口提供控制的清潔工(gong)作應(ying)用。

功能和優勢

緊湊的占地(di)面積(ji) – 作(zuo)為可(ke)用的小工具上泵之(zhi)一，EPX 節省(sheng)了(le)占地(di)面積(ji)。EPX 可(ke)以直接安裝(zhuang)到(dao)工具上，從而節省(sheng)了(le)前級

管道和安裝(zhuang)(zhuang)成本，如果需(xu)要也(ye)可遠程安裝(zhuang)(zhuang)。

低運行成本(ben) - EPX 僅需要 1.4 kW 的功(gong)率(lv)(lv)和(he)整(zheng)合空閑模(mo)式，從而可化功(gong)率(lv)(lv)效(xiao)率(lv)(lv)。

的(de)保(bao)護(hu)機械裝置 – EPX 可(ke)以(yi)從大氣壓(ya)(ya)抽空到渦輪分子基準壓(ya)(ya)力，并可(ke)以(yi)在所有進氣口(kou)壓(ya)(ya)力下(xia)連續工作。

超清潔機械(xie)裝置 – 傳統的(de)高真空軸(zhou)承(cheng)底油脂使用(yong)油脂潤滑，這可(ke)能(neng)成為制(zhi)程工具中污染源。EPX 泵沒(mei)有高真空軸(zhou)承(cheng)底油

脂(zhi)，并且不存在任何其他(ta)的潛在污染(ran)源。

非常可靠EPX 基(ji)于經過現場驗證的 IPX 技術(shu)，具有(you) 13 年(nian)的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年(nian)維修一次，程度(du)地延長了

泵的使用壽命。

可兼容的(de)(de)網(wang)絡 - EPX 系列配有(you)終用戶控制(zhi)，可以(yi)連接(jie)到各種結構的(de)(de)網(wang)絡，以(yi)進(jin)行診斷監視和控制(zhi)。 

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