日本ULVAC螺桿真空泵NRL180A維修保養

愛發科真空(kong)泵NRL180A特點(dian)：

低噪(zao)音、低振動、*的耐(nai)腐蝕性。

標準零(ling)部(bu)件采用高硬(ying)度并經過(guo)優異的防腐蝕特(te)殊表面處理，降低對府蝕性氣體(ti)排氣時泵

體內(nei)部(bu)的腐(fu)蝕(shi)程(cheng)度(du)。

隨(sui)泵配送選購件(jian)：

可選購消音器(qi)、冷卻水流(liu)量(liang)開關、氮氣流(liu)量(liang)開關、泵(beng)溫傳感器(qi)。

適用于行業(ye)：

活性氣體（CVD/刻蝕等）

排出非(fei)活性(xing)氣體（濺(jian)射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱(re)處理、液晶注(zhu)入等）

用于產生粉塵工藝中的(de)排(pai)氣（Si單品爐等(deng)）

作為前(qian)(qian)級泵使(shi)用（渦輪式分子泵、機(ji)械羅茨(ci)泵的前(qian)(qian)級泵）

冷凍(dong)干(gan)燥等水(shui)蒸氣排(pai)氣。

愛發科NRL180A干式螺桿真空泵一般(ban)用于排出非(fei)活(huo)性氣體(ti)（濺(jian)射鍍膜(mo)、蒸(zheng)氣鍍膜(mo)、熱處

理、液晶注入(ru)等），排出非活性氣體行業對泵的腐蝕性很大，大多數(shu)真空泵都是因為(wei)腐

蝕(shi)后轉數慢，影響到(dao)生產效率，需(xu)要專(zhuan)業的廠家維(wei)修，東莞比其爾真空承接(jie)愛發科

NRL180A干式螺(luo)桿(gan)真空(kong)泵(beng)維修(xiu)。

針對真空泵(beng)腐蝕的修復方法(fa)：

*清除表(biao)面氧化(hua)層(ceng)，用(yong)丙酮將表(biao)面清洗干(gan)凈。噴(pen)砂、打磨、涂(tu)防腐(fu)蝕涂(tu)層(ceng)保護，專業(ye)

的安(an)裝方(fang)式完工。

愛發(fa)科NRL系列在低(di)溫(wen)領域下的均熱化，除PVD工藝(yi)外，龍其適用于希望提高流量，縮

短非氣時(shi)間的重(zhong)要(yao)工藝腔體的排氣。

選擇比(bi)其爾的優勢---進口真空泵專業維修廠家：擁有10年以上各類進口真空泵維修經驗(yan)

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