ULVAC干式(shi)真空泵NRL180A卡死維修

愛發科(ke)NRL180A干式(shi)螺桿(gan)真空泵(beng)一般用于排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處

理、液晶注入等），排出非活性(xing)(xing)氣(qi)體(ti)行業對泵的腐蝕性(xing)(xing)很大，大多(duo)數(shu)真(zhen)空泵都是(shi)因為腐

蝕后轉數慢，影響到(dao)生產(chan)效率(lv)，需要專業(ye)的廠(chang)家(jia)維修，東莞比其爾真空承接愛(ai)發科

NRL180A干式螺桿(gan)真空泵(beng)維修。

針對真空泵腐蝕的修復方法：

*清除表面氧(yang)化層(ceng)，用丙酮將表面清洗(xi)干凈。噴砂、打磨、涂防(fang)腐(fu)蝕涂層(ceng)保護，專業

的安裝方式完工。

愛發科NRL系列在(zai)低溫(wen)領域下的均熱化(hua)，除PVD工藝外，龍其適用于希望(wang)提高流量，縮(suo)

短非(fei)氣(qi)時間(jian)的(de)重要工(gong)藝(yi)腔體的排氣。

愛發科真空泵NRL180A特(te)點(dian)：

低(di)噪音、低(di)振動、*的耐腐(fu)蝕性(xing)。

標準零(ling)部件(jian)采(cai)用高硬(ying)度(du)并經過(guo)優異(yi)的防腐蝕(shi)特殊表面處理，降低對府蝕(shi)性氣體排氣時泵

體內(nei)部的(de)腐蝕程度。

隨(sui)泵配送(song)選購件：

可選購消音器、冷卻水流量開(kai)關、氮氣流量開(kai)關、泵溫傳感器。

適用于行業：

活性氣體（CVD/刻蝕等）

排出非活(huo)性氣體（濺射鍍(du)膜、蒸氣鍍(du)膜、熱(re)處理(li)、液晶注入等）

用于產生粉塵(chen)工藝中的(de)排氣（Si單品爐(lu)等）

可用前(qian)級(ji)泵使(shi)用（渦輪式(shi)分(fen)子泵、機(ji)械羅茨泵的前(qian)級(ji)泵）

冷凍干燥等(deng)水蒸氣(qi)排(pai)氣(qi)。

真空(kong)泵(beng)維(wei)修流(liu)程(cheng)安排：

*、初步(bu)了解真空泵現狀

服務：如有需要，會在24小時內派出專(zhuan)業(ye)技術(shu)人員趕(gan)赴現場確認真空(kong)泵故障(zhang)。

第二、確(que)定真空泵故障原因

服務：真空(kong)泵確認了解故(gu)障原因后，擬定(ding)出具體維修方案與周(zhou)期、甲(jia)乙雙方簽(qian)定(ding)協議

后(hou)，珠三角(jiao)地區甲方安(an)

排人員上門提泵，其(qi)他區域客戶可(ke)以選擇物(wu)理(li)快遞。

第三、真空泵拆開(kai)報(bao)價

服務：為了讓客戶更清晰的知(zhi)道維(wei)修(xiu)費用(yong)，比其爾會給(gei)出詳(xiang)細的維(wei)修(xiu)清單及費用(yong)明細

第(di)四、確認真空泵維修

服務：客(ke)戶(hu)同意維(wei)修費(fei)用后開(kai)始維(wei)修，維(wei)修后所(suo)換配(pei)件全(quan)部還客(ke)戶(hu)。

第(di)五、真(zhen)空(kong)泵維修(xiu)完(wan)畢后試(shi)機，一般測試(shi)時間是24小時。

服務：確保維修過后達到的真(zhen)空(kong)度和穩定性(xing)能(neng)，真(zhen)空(kong)度達到出廠標準。

第六、配送真空泵上門安裝(zhuang)調試

服務：在試機(ji)OK后24小時內，客戶可當(dang)初驗收真(zhen)空泵，看試機(ji)運轉效果。

第七、統一質保修六個月，定期回訪、并(bing)提供免費技術支持。

服務：東莞比(bi)其(qi)爾維(wei)修過的(de)每臺真空泵(beng)都(dou)會(hui)記入檔案，我們(men)會(hui)定期(qi)根據后期(qi)使用情(qing)況(kuang)做

出(chu)回訪工作。

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